高科技廠房設施委員會(SEMI High-Tech Facility Committee)旨在凝聚廠房設施專業資源，提供研討交流之平台，推動廠房設施關鍵技術之提昇，同時也致力兼顧環境保育，並落實企業社會責任，長期深耕節能、減廢、防災及智慧製造等各項議題。本研討會「高科技廠房綠色環保技術」，除了著重製程有害物質削減的主題之外，更納入探討我們共同需要積極面對的空污與水污染防治議題。呼籲依循政府政策之外，推動學界及企業緊密合作，結合上下游的力量，找回藍色天空及珍貴的水資源。

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        計畫內人員參與本次研討會，旨於吸收專業知識及宣傳；將本聯盟會員廠商之DM、宣傳單、會員章程發放予現場與會產官學來賓。